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mechatronic 晶圆上料机 (mWL neo)
通过我们的新型晶圆装载机 neo（mWL neo），我们为您提供了一个高度灵活的模块化EFEM，可与计量和工艺系统集成
升级版自动化晶圆装载与卸载系统（EFEM）”是用于与工艺和计量设备集成的最新一代系统
作为对经典 mWL 的进一步发展，mWL neo 提供了更多样化操作的最佳选择。在这种新设计中，mechatronic systemtechnik gmbh 将关键的处理组件和复杂性移至模块和软件框架中。我们的 mWL neo 可以支持简单和复杂的处理需求。这种全新的设计使得 mWL neo 成为一个更加灵活的系统，可根据不同的生产需求进行定制和调整。无论是处理常规的晶圆装载任务，还是应对特殊的复杂情况，mWL neo 都能胜任。其智能化的软件框架提供了高度的灵活性和定制性，让您可以轻松适应不同的生产环境和工艺要求。通过使用 mWL neo，您可以实现晶圆装载和卸载过程的高度自动化，同时提高生产效率，减少操作成本，并确保晶圆处理的高度精度和可靠性
mechatronic 晶圆上料机 (wWL neo) 关键特点
- 增加模块化，降低生产和定制化工作量（上料口，robot等）
- 灵活处理基板尺寸、类型及其组合，能够处理行业内最广泛范围的不同晶圆和载具
- 标准化的主机架，缩短交货时间并降低成本：提供3种尺寸可选（2位、3位和4位）
- 所有位置都可以配置所有模块
- 主要软件平台保持不变
mechatronic 晶圆上料机 (wWL neo) 关键优势
- 经过行业验证的mechatronic systemtechnik gmbh 组件
- “一站式解决方案”-->减少复杂性
- 提供3种尺寸选择（2组，3组和4组）
- 各模块位置可灵活搭配
- 模块化设计
- 新组件（上料端口）将在模块库中实现
- 主软件平台保持不变。
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