mechatronic systemtechnik 的专有预对准器、映射系统和夹具是我们能够应对专业处理需求的关键原因。我们有能力为系统中的所有组件定制,以满足电力、传感器和MEMS器件制造中几乎所有基板类型的安全可靠处理需求。mechatronic systemtechnik 的系统可以配备我们的专有预对准器,也可以选择来自 Isel 的第三方预对准器。我们的预对准器尤其适用于非标准需求,例如玻璃晶圆或在石英晶圆上键合时的切口对准。此外,mechatronic systemtechnik 还为其预对准器提供各种夹具选项。从仅在技术边缘处具有接触点的,结合翻转功能,到适用于薄晶圆的 Bernoulli 真空式晶圆固定方式,我们提供多样化的选择。所有mechatronic systemtechnik 的预对准器都能处理各种尺寸的晶圆(150毫米、200毫米和300毫米)