mechatronic systemtechnik 的专有末端执行器、预对准器、映射系统和夹具是我们能够应对专业处理需求的关键原因。我们有能力为系统中的所有组件定制,以满足电力、传感器和MEMS器件制造中几乎所有基板类型的安全可靠处理需求。这意味着我们可以根据客户的具体需求定制我们系统中的所有部件,确保对各种不同类型和尺寸的基板进行安全可靠的处理。
晶圆映射
在挑选或放置基板时,末端执行器的理想位置受多种因素影响。这些因素包括基板驱动因素(例如翘曲度和弯曲度)、盒子驱动因素(例如倾斜或变形)以及硬件驱动因素(例如末端执行器的厚度)。对于非标准基板而言,误差空间非常小,可以非常精确的映射。