与大多数其他供应商不同，我们的系统将晶圆翻转整合到 robot 上。这样一来，我们就减少了对吞吐量的影响。此外，我们还向末端执行器提供了多种介质和电气连接，使得处理这项任务变得非常快速和经济高效。 根据各种需求定制我们系统中的所有组件，以确保对电力、传感器和MEMS器件制造中几乎所有基板类型的安全可靠处理。
需要进行背面工艺或计量操作时，翻转晶圆是一个常见的需求。特别是背面金属化、背面注入、或沉积等工艺，以及相关的计量步骤
mechatronic systemtechnik gmbh 处理晶圆翻转有两种选项，一种是在 robot 上进行，另一种是在外部模块上进行，如果因晶圆类型或工艺原因无法在 robot 上进行的情况下。通过取消翻转站，我们减少了对吞吐量的影响。这个特性，加上向末端执行器提供多种介质和电气连接，使得处理这项任务变得非常快速和经济高效。
