拥有自主研发的末端执行器、预对准器、映射系统和夹具,这是我们能够应对特殊处理方式的原因。我们具备为各种需求定制系统中所有组件的能力,以确保对用于电力、传感器和MEMS器件制造的几乎所有衬底类型的安全可靠处理
作为我们合作伙伴的额外服务,mechatronic systemtechnik gmbh 通过提供检测板来供应在计量和光刻设备上放置晶圆的设计知识和制造工艺。借助我们特有的专利技术,我们的卡盘可以处理大于10毫米的翘曲(例如eWLP晶圆)。当晶圆放置在卡盘中时,其平整度可以低于10微米。可以更好地处理晶圆,并且确保其在计量和光刻设备上的准确放置。